根據(jù)國(guó)際慣例，無(wú)錫無(wú)塵車間凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂無(wú)塵不是100%沒有灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然，與我們常見的灰塵相比，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒很小，但對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，即使是一點(diǎn)灰塵也會(huì)產(chǎn)生很大的負(fù)面影響，所以無(wú)塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)中不可避免的要求。

每立方米粒徑小于0.5微米的粉塵數(shù)量控制在3500以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前，芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)，主要用于一些髙級(jí)芯片生產(chǎn)。粉塵數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi)，通常被稱為行業(yè)1K級(jí)別。

以下是無(wú)塵車間所需的凈化參數(shù)：

1.隔間.吊頂材質(zhì).吊頂高度；

2.地板材料；

3.是否恒溫恒濕；

4.是否需要排風(fēng)；

5.車間總?cè)藬?shù)；

6.車間工藝設(shè)備的熱量；

等等一系列參數(shù).

10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)為：

塵埃蕞大允許數(shù)(每立方米)；

大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3.5萬(wàn)顆，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2萬(wàn)顆；

微生物蕞大允許數(shù)；

每立方米浮游菌數(shù)不得超過500個(gè)；

沉降菌數(shù)不得超過每培養(yǎng)皿10個(gè)。

壓差：潔凈度等級(jí)相同的潔凈室壓差保持一致，不同潔凈度等級(jí)相鄰潔凈室之間的壓差應(yīng)相同≥5Pa，潔凈室和非潔凈室之間≥10Pa。

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度對(duì)溫度.當(dāng)濕度沒有特殊要求時(shí)，蕞好穿干凈的工作服，不要有舒坦感。溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

配電:無(wú)塵車間(區(qū))主要生產(chǎn)用房一般照明值得≥300Lx；輔助工作室.人員凈化和物料凈化室.氣閘室.走廊等的照明值應(yīng)為200~300Lx。

噪聲控制

一.動(dòng)態(tài)試驗(yàn)時(shí)，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間噪聲等級(jí)不得超過70分貝A。

二.靜態(tài)試驗(yàn)時(shí)，萬(wàn)級(jí)亂流無(wú)塵車間的噪聲等級(jí)不宜大于60分貝A。

氣流組織

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間主要采用送風(fēng)方式；

1.局部孔板天花板送風(fēng)；

2.帶擴(kuò)散板的髙效空氣過濾器天花板送風(fēng)；

3.上墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。

10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間主要采用回風(fēng)方式；

1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口；2.采用走廊回風(fēng)時(shí)，在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊末端集中設(shè)置回風(fēng)口。

風(fēng)速米/秒:

1.孔板孔口3~5；

2.側(cè)送風(fēng)口：

(1)附著射流2~5；

(2)非粘附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5、對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。

回風(fēng)(米/秒):

1.潔凈室回風(fēng)口不大于2；

2.走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4。

人員進(jìn)出10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)操作程序

1目的

建立10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間人員進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)操作程序，確保無(wú)塵車間不受人員污染。

2范圍

車間10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間人員進(jìn)出，包括生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)者.維修人員和管理人員。

3責(zé)任

3.進(jìn)出10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的人員應(yīng)對(duì)此操作程序負(fù)責(zé)。

3.2無(wú)塵車間班組長(zhǎng).現(xiàn)場(chǎng)質(zhì)量管理員負(fù)責(zé)監(jiān)督.檢查。

4內(nèi)容

4.1進(jìn)入無(wú)塵車間門口，放下雨具.物品在規(guī)定位置。

4.2.換拖鞋。在換鞋的地方，坐在鞋凳上，脫下家里的鞋子，放在鞋柜里，旋轉(zhuǎn)180度，從鞋柜上層拿出拖鞋穿上。

4.3換工作服。進(jìn)入一般工作區(qū)辦公室，脫下員工便服，換上工作服。

4.4洗手。按洗手過程洗手。

4.5換工作鞋。進(jìn)入鞋間門口，坐在橫凳上，面對(duì)門，脫下拖鞋，將拖鞋放入鞋柜下層，從鞋柜上層取出工作鞋，坐著旋轉(zhuǎn)180度，背對(duì)門。

4.6洗手.烘干。

4.6.洗手池用水潤(rùn)濕雙手至手腕10cm,用洗滌劑清洗，手腕10cm皮膚充滿泡沫，摩擦約15秒。

4.6.2用水沖洗雙手，沖洗手泡米，雙手上下翻動(dòng)，摩擦，直至不感到油膩。

4.6.3用眼睛檢查雙手是否干凈。

4.6.將手掌伸到8~10cm烘手，直到干燥。

4.7.更換干凈的內(nèi)衣。脫下工作服放入個(gè)人更衣柜，從更衣室的墻鉤上取下含有個(gè)人號(hào)碼的工作帽.工作衣.換上工作褲。按照自上而下的順序穿上，即：先戴帽子.戴上口罩，穿上外套，然后穿上褲子。注意把外套全部系在褲袋里，把頭發(fā)全部塞進(jìn)帽子里，檢查帽子是否整齊。

4.8洗手.消毒。

4.8.洗手池用水潤(rùn)濕雙手至手腕10cm,用洗滌劑清洗，手腕10cm皮膚充滿泡沫，摩擦約15秒。

4.8.2用水沖洗雙手，沖洗手泡米，雙手上下翻動(dòng)，摩擦，直至不感到油膩。

4.8.3用眼睛檢查雙手是否干凈。

4.8.4消毒。雙手至腕上100cm浸泡在含氯消毒劑中30秒。

4.8.將手掌伸到烘手機(jī)下8~100cm烘手，直到干燥。

4.9穿連體衣。從衣柜里取出含有個(gè)人號(hào)碼的連體衣。按照自下而上的順序穿上，注意不要讓連體衣接觸地面。

4.10次消毒。推門進(jìn)入緩沖室，雙手放在裝有75%乙醇的自動(dòng)感應(yīng)噴霧器下，噴霧消毒，雙手摔倒，讓乙醇揮干。

4.11進(jìn)入無(wú)塵車間。打開緩沖室門，進(jìn)入無(wú)塵區(qū)。

4.12人出潔凈區(qū)按進(jìn)入潔凈區(qū)的相反程序進(jìn)行。拖工作服時(shí)要注意從下到上脫衣。

4.在車間管理人員的指導(dǎo)和監(jiān)督下，13名外的指導(dǎo)和監(jiān)督下，按照規(guī)定的程序進(jìn)出無(wú)塵車間。外國(guó)游客須嚴(yán)格遵守車間無(wú)塵管理規(guī)定。無(wú)塵車間生產(chǎn)期間，外國(guó)游客不得進(jìn)入。