無塵車間等級劃分

發(fā)布時間：2022-09-21 13:27:44 瀏覽：1040次

無錫無塵車間告訴您所謂無塵車間是一個人工環(huán)境，其粒子遠(yuǎn)低于一般環(huán)境。隨著集成電路技術(shù)的快速發(fā)展，對制造環(huán)境（無塵車間）的清潔度和靜態(tài)度的需求也增加了。即使工業(yè)粒子的尺寸小于1μm，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)行或縮短其使用壽命。由于奈米技術(shù)的興起，半導(dǎo)體的關(guān)鍵尺寸不斷縮小，集成電路的積聚度不斷增加，灰塵顆粒更容易使芯片失效或可靠性惡化。例如，當(dāng)金屬灰塵顆粒落入金屬導(dǎo)線時，金屬導(dǎo)線可能會短路。如果酸性離子化合物灰塵顆粒落在金屬導(dǎo)線上，可能會腐蝕，因此無塵車間是集成電路不可缺少的元素。

無塵車間設(shè)備根據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)，無錫無塵車間可分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、1萬級、1萬級。如果無塵車間的等級僅用粉塵顆粒的數(shù)量來描述，則可以假設(shè)粉塵顆粒的.5μm，例如，東莞1級、10級、100級無塵車間的粉塵顆粒數(shù)量等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0，.5μm，無塵車間的等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的等級來表示。例如：10級為0.2μm(塵粒尺寸為0.2μm或更大，密度不超過75個/立方英?).1μm(塵粒尺寸為0.1μm或更大，密度不超過35個/立方英?)。集成電路制造所需的無塵車間潔凈度須優(yōu)于1000級。
為了保持無塵車間的清潔度，進(jìn)出人員有一定的著裝規(guī)定；1萬級和1萬級，須穿長衫、無塵鞋、帽子和面具；1000級以上，需要穿特殊的清潔連身衣，包裹全身，戴手套和面具，下表為無塵車間清潔度的概念：
塵粒數(shù)/立方英
級數(shù)0.1μm0.2μm0.3μm0.4μm0.5μm
1357.531N/A
10350753010N/A
100N/A750300100N/A
1000N/AN/AN/A10007
10000N/AN/AN/A1000070
100000N/AN/AN/A100000700

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