無塵車間潔凈度等級標準ISO14644-1根據(jù)懸浮顆粒濃度的唯壹指標，劃分潔凈室及相關控制
一.萬級無塵室標準
1.蕞大允許顆粒數(shù)(每立方米)，≧0.顆粒數(shù)不能超過3.5萬微米，≧5微米顆粒數(shù)不能超過2000個；蕞大允許顆粒數(shù)(每立方英尺)，≧0.5微米顆粒數(shù)不能超過1萬個.單位轉換:1m3=35.3ft3).
2.微生物蕞大允許數(shù)：浮游菌數(shù)不超過100個m3;沉隆菌數(shù)不得超過3個
3.壓差:不同潔凈等級相鄰潔凈室之間的壓差應為≧5pa，潔凈室和非潔凈室之間≧10pa。
二.萬級潔凈室對溫度、濕度要求
1.冬季：溫度20~22222℃，濕度40~50%
2.夏季：24~26℃/±2℃，濕度50~70%
三.影響因素
1.風量(新風、回風、送風、通風次數(shù)、萬級≧20次/h
2.風速：0.25m/s~0.5m/s
3.正壓：≧5pa環(huán)境壓力
4.噪音：70分貝（dB）
四.濾網(wǎng)的級別
1.G1對粒徑≧5.0um，過濾效率≧20%
2.G2對粒徑≧5.0um，50-20%的過濾效率
3.G3對粒徑≧5.0um，70-50%的過濾效率
4.G4對粒徑≧5.0um，90-70%的過濾效率
5.F7對粒徑≧1.0um，過濾效率90＞E≧70%
6.F8對粒徑≧1.0um，過濾效率90＞E≧75%
7.F9對粒徑≧1.0um，過濾效率99＞E≧90%
8.H12對粒徑≧0.5um，過濾效率≧99.9%
9.H13對粒徑≧0.5um，過濾效率為≧99.99%（99.97%-99.99%）H17）
10.H14對粒徑≧0.5um，過濾效率為≧99.999%

潔凈室壓差控制
1.壓差實質:新風量和排氣量壓差風量之間的平衡
DC系統(tǒng)：新風量=排風量壓差風量
循環(huán)系統(tǒng)：新風量回風量=回風量排風量壓差風量
本質是：新風量=排風量壓差風量
因此：潔凈室壓差的建立和調，應反映新風量、排風量壓差風量之間的平衡
對于循環(huán)系統(tǒng)，輸送一定的風量，一般可根據(jù)要求調整排氣量，然后調整回風量，建立壓差。
注：潔凈室送風量要求一定，因此不能作為控制變量。
2.引起潔凈室壓差波動的外擾因素及對策:
A.送風系統(tǒng)過濾器阻力變化
B.戶外風壓
要求:圍護結構和門密封性能好，潔凈室對外≥10pa壓差。保持鄰近潔凈室的壓差。≥5pa壓差。
C.潔凈室門的啟閉影響壓差，溫度也影響空氣對流速度。Δt=0℃，開門空氣交換量為0.19m3/s，Δt=2℃，則達0.24m3/s。
為避免回流（反吸），流經(jīng)門的空氣速度應為>0.2m/s。（ISO14644-4中提到的保持低壓差所需的氣流速率)。.25m3/s-0.5m3/s氣流速率。
保持壓差的對策：選擇閉環(huán)控制，設置緩沖室或氣閘。
D.潔凈室壓差會導致回流，因此需要選擇閉環(huán)控制，避免壓差起伏。