無(wú)塵車(chē)間潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1根據(jù)懸浮顆粒濃度的唯壹指標(biāo)，劃分潔凈室及相關(guān)控制
一.萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)
1.蕞大允許顆粒數(shù)(每立方米)，≧0.顆粒數(shù)不能超過(guò)3.5萬(wàn)微米，≧5微米顆粒數(shù)不能超過(guò)2000個(gè)；蕞大允許顆粒數(shù)(每立方英尺)，≧0.5微米顆粒數(shù)不能超過(guò)1萬(wàn)個(gè).單位轉(zhuǎn)換:1m3=35.3ft3).
2.微生物蕞大允許數(shù)：浮游菌數(shù)不超過(guò)100個(gè)m3;沉隆菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)
3.壓差:不同潔凈等級(jí)相鄰潔凈室之間的壓差應(yīng)為≧5pa，潔凈室和非潔凈室之間≧10pa。
二.萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度要求
1.冬季：溫度20~22222℃，濕度40~50%
2.夏季：24~26℃/±2℃，濕度50~70%
三.影響因素
1.風(fēng)量(新風(fēng)、回風(fēng)、送風(fēng)、通風(fēng)次數(shù)、萬(wàn)級(jí)≧20次/h
2.風(fēng)速：0.25m/s~0.5m/s
3.正壓：≧5pa環(huán)境壓力
4.噪音：70分貝（dB）
四.濾網(wǎng)的級(jí)別
1.G1對(duì)粒徑≧5.0um，過(guò)濾效率≧20%
2.G2對(duì)粒徑≧5.0um，50-20%的過(guò)濾效率
3.G3對(duì)粒徑≧5.0um，70-50%的過(guò)濾效率
4.G4對(duì)粒徑≧5.0um，90-70%的過(guò)濾效率
5.F7對(duì)粒徑≧1.0um，過(guò)濾效率90＞E≧70%
6.F8對(duì)粒徑≧1.0um，過(guò)濾效率90＞E≧75%
7.F9對(duì)粒徑≧1.0um，過(guò)濾效率99＞E≧90%
8.H12對(duì)粒徑≧0.5um，過(guò)濾效率≧99.9%
9.H13對(duì)粒徑≧0.5um，過(guò)濾效率為≧99.99%（99.97%-99.99%）H17）
10.H14對(duì)粒徑≧0.5um，過(guò)濾效率為≧99.999%

潔凈室壓差控制
1.壓差實(shí)質(zhì):新風(fēng)量和排氣量壓差風(fēng)量之間的平衡
DC系統(tǒng)：新風(fēng)量=排風(fēng)量壓差風(fēng)量
循環(huán)系統(tǒng)：新風(fēng)量回風(fēng)量=回風(fēng)量排風(fēng)量壓差風(fēng)量
本質(zhì)是：新風(fēng)量=排風(fēng)量壓差風(fēng)量
因此：潔凈室壓差的建立和調(diào)，應(yīng)反映新風(fēng)量、排風(fēng)量壓差風(fēng)量之間的平衡
對(duì)于循環(huán)系統(tǒng)，輸送一定的風(fēng)量，一般可根據(jù)要求調(diào)整排氣量，然后調(diào)整回風(fēng)量，建立壓差。
注：潔凈室送風(fēng)量要求一定，因此不能作為控制變量。
2.引起潔凈室壓差波動(dòng)的外擾因素及對(duì)策:
A.送風(fēng)系統(tǒng)過(guò)濾器阻力變化
B.戶(hù)外風(fēng)壓
要求:圍護(hù)結(jié)構(gòu)和門(mén)密封性能好，潔凈室對(duì)外≥10pa壓差。保持鄰近潔凈室的壓差。≥5pa壓差。
C.潔凈室門(mén)的啟閉影響壓差，溫度也影響空氣對(duì)流速度。Δt=0℃，開(kāi)門(mén)空氣交換量為0.19m3/s，Δt=2℃，則達(dá)0.24m3/s。
為避免回流（反吸），流經(jīng)門(mén)的空氣速度應(yīng)為>0.2m/s。（ISO14644-4中提到的保持低壓差所需的氣流速率)。.25m3/s-0.5m3/s氣流速率。
保持壓差的對(duì)策：選擇閉環(huán)控制，設(shè)置緩沖室或氣閘。
D.潔凈室壓差會(huì)導(dǎo)致回流，因此需要選擇閉環(huán)控制，避免壓差起伏。